Das Labor für Beschichtungstechnik befaßt sich mit Forschung und Lehre im Bereich der Dünnschichttechnik und der Vakuumtechnik.
Dünnschichttechniken werden in der industriellen Fertigung dort eingesetzt, wo die Oberfläche des Bauteils andere Eigenschaften als das Volumenmaterial aufweisen soll. Dementsprechend vielfältig sind die Einsatzbereiche moderner Dünnschicht- und Vakuumtechniken. In nahezu allen Industriebereichen werden Dünnschichttechniken angewendet (weitere Details).
Einer der am weitest verbreiteten Prozesse zur Abscheidung von dünnen Schichten ist der Sputter-Prozeß. Das Labor ist daher mit einem Sputter für Substratgrößen bis Ø 200 mm ausgestattet.
Praktisch alle Techniken zur Abscheidung von dünnen Schichten finden im Vakuum statt. Daher ist ein wesentlicher Bestandteil des Labors auch die Ausbildung der Studenten in die Grundlagen der Vakuumtechnik. Hierfür stehen umfangreiche Exponate und Versuchsaufbauten zur Verfügung (weitere Details).
Ausstattung
- PVD-/PECVD-Anlage (SPUTTER) für Substratgrößen bis Ø 200 mm
- Reinraumbereich mit Reinraumklasse 100 nach US Fed. 209 E bzw. ISO 5 nach der DIN ISO 14644-1
- Zentrale Gasversorgung für N2, O2, Ar, H2
- Feuergeschützte Gefahrstoffschränke mit Absaugung
- Schichtdickenmessgerät DEKTAK DXT SURFACE PROFILE MEASURING SYSTEM
- Demonstrations- und Versuchsaufbauten zur Vakuumtechnik
- Studentenarbeitsplätze
Weitere Details zur Ausstattung finden Sie hier.
Charakterisierung und weitere Prozessierung
Zur Charakterisierung der Oberflächen und zur weiteren Prozessierung stehen an der Hochschule in anderen Laboren eine Vielzahl von Geräten zur Verfügung, die bei Bedarf genutzt werden können, z.B.:
- Optische Mikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie
- Röntgenfluoreszenzanalyse
- Absorptionsspektroskopie (UV, VIS, IR)
- Dielektrizitätsmessungen bis 1GHz
- Flip-Chip-Bonder
- Dünndrahtbonder
- Pulltester
Kontakt
Prof. Dr. Manfred Stollenwerk
Manfred.Stollenwerkh-abde
Johannes Stadtmüller, B. Eng.
Johannes.Stadtmuellerh-abde