TH Aschaffenburg - University Of Applied Sciences

Details der Ausstattung

PVD-/PECVD-Anlage (Sputter)

Detailaufnahme einer Sputterkathode

 

HiPIMS-Einheit (Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern):

Zentrale Gasversorgung

Schichtdickenmessgerät DEKTAK DXT SURFACE PROFILE MEASURING SYSTEM

Detailaufnahme des Detak Oberflächenprofilometers

Gefahrstoffschränke mit Absaugung

Reinraumbereich

Arbeitsplätze

 

 

 

Ausschnitt aus dem Gasmischsystem des Sputters



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